요소기술
인증
특허
요소기술
반도체세정장비 기술
- 파티클 발생 없는 로봇 시스템
- 초정밀 고속 기판 이송 시스템
- 고정밀 케미컬 분사시스템
- 케미컬 농도/온도 제어시스템
- 고청정 기류제어 챔버시스템
- 전장 및 소프트웨어 기술
- 세정공정 최적화 기술
- 시스템 인테그레이션 기술
※ 관련 등록특허 6건
연마 장비 기술
- 고정밀 갠트리 로봇시스템
- 정밀 기판 이송시스템
- 초고속회전 스핀들시스템
- 카메라 비젼 검사시스템
- 연마기 전장 및 소프트웨어 기술
- 기판 적재, 이송 관련 기술
- OLED In-line 장비
※ 관련 등록특허 3건
요소 부품 기술
- 초박형 알루미늄 서셉터
- 균일 온도분포 제어
- 고속 온도 제어시스템
- 고진공 고온 챔버(OLED)
- 진공 물류시스템
- 탄소나노튜브 히터
- 탄성파 나노박막 기술
※ 관련 등록특허 12건
