사업분야

반도체 장비

디스플레이 장비

진공 시스템

히팅시스템

히팅 시스템

Susceptor를 정밀 제어하는 장치로 Susceptor 특성을 고려한 2-Zone 정밀 제어 설비

Feature

  • 다량 측정 Sensor 적용(16Ch) 및 자체 Data Logger 기능으로 온도 측정 및 저장
  • Embedded PC & Monitior 적용으로 사용의 편의성 증대
  • 다양한 상위 Interface 대응

Specifications

  • Chanel : 2
  • 제어 용량 : ~5Kw X 2-Zone
  • Control : Embedded PC & Monitior 적용, Ethernet, RS-232C, RS-485