반도체 장비
디스플레이 장비
진공 시스템
히팅시스템
히팅 시스템
Susceptor를 정밀 제어하는 장치로 Susceptor 특성을 고려한 2-Zone 정밀 제어 설비
Feature
- 다량 측정 Sensor 적용(16Ch) 및 자체 Data Logger 기능으로 온도 측정 및 저장
- Embedded PC & Monitior 적용으로 사용의 편의성 증대
- 다양한 상위 Interface 대응
Specifications
- Chanel : 2
- 제어 용량 : ~5Kw X 2-Zone
- Control : Embedded PC & Monitior 적용, Ethernet, RS-232C, RS-485