요소기술
인증
특허
특허
(특허 제 10-0975637호)
탄소나노튜브를 이용한 고효율 서셉터 및 그 제조방법
(특허 제 10-1147998호)
고효율 서셉터 및 이의 제조방법
(특허 제 10-1180740호)
샌드위치형 히터
(특허 제 10-1217504호)
서셉터 제조방법 및 이에 의해 제조된 서셉터
(특허 제 10-1261399호)
히터시스템의 온도 제어시스템 및 이를 이용한 온도 제어방법
(특허 제 10-1337463호)
균일한 온도 분포를 갖는 서셉터 및 그 제조방법
(특허 제 10-1375545호)
에어컨의 실외기 냉각을 통한 전력절감시스템
(특허 제 10-1443842호)
동기 제어를 이용한 온도 제어 시스템
(특허 제 10-1443841호)
실외기 작동 감지센서
(특허 제 10-1480783호)
시트 메탈을 이용한 서셉터 및 그 제조방법
(특허 제 10-1583523호)
기판 연마 장치
(특허 제 10-1692915호)
반도체 세정 및 건조 설비용 노즐 구동시스템
(특허 제 10-1791939호)
고유 진동을 이용한 진동 연마 시스템
(특허 제 10-1860709호)
다수 글라스의 동시 연마방법, 연마모듈 및 이를 포함하는 연마장치
(특허 제 10-1856708호)
반도체 세정 및 건조 설비용 노즐 구동 시스템
(특허 제 10-1879177호)
약액공급장치
(제 1191283호)
표면 탄성파 잉크젯 헤드-제주대기술이전
(특허 제 10-1892428호)
반도체 세정장비의 약액 공급시스템
(특허 제 10-1942310호)
반도체 장비용 버퍼 장치
(특허 제10-1667949호)
연마기용 선형 구동기