반도체 장비
디스플레이 장비
진공 시스템
히팅시스템
진공 시스템
Index Robot을 통해 대기압 환경의 Load Lock Chamber에 Loading된 Cell을 진공 환경으로 만들고
진공 Robot을 통해 진공 Process Module에 Cell을 이송하는 설비
Feature
- Simulation을 통해 내/외부 압력차에 의한 변형 최소화 설계 및 제작
- 아웃개싱( Out-gassing ) 최소화 기술
- 효율적 압력 제어 방식으로 진공 Chamber 간 기판 이송 시간 단축 기술
Specifications
- 사용 압력 : 1 x 10-3 Torr
- Cell Size : Gen2 ~ Gen6 Glass
- Target : OLED, LCD