반도체 장비
디스플레이 장비
진공 시스템
히팅시스템
진공 시스템
OLED 증착 공정에서 유기 또는 무기 물질을 진공 및 가열하여 증발시켜 기판에 OLED 유기물 or 무기물을
증착 시키는 설비
Feature
- 고진공 Pumping 기술
- Point 및 Linear Source 정밀 제어
- 생산관리에 필요한 Data 제공 및 편리한 UI 구성
Specifications
- 사용 압력 : 1 x 10-7 Torr
- 박막 균일도 : ≤ 2%
- Target : OLED